정밀측정기 - 마부치코리아

제품정보

Home ｜ 제품정보 ｜ 정밀측정기

정밀측정기

방진대

우주•해양•빛•반도체•의학•식품 등 폭넓은 산업연구개발 분야와 제조라인에서 사용하고 있습니다.
제작가능치수는 1m×0.6m에서 2m×6m까지. 조인트 방식의 경우는 4m×12m까지 제작가능 합니다.

광학 제진대

뛰어난 평탄도를 자랑합니다.
열에 대해 영향을 받지 않으며 청소가 용이한 터보클린시스템을 채용하였습니다.

미세 형상측정 시스템 UMAP VISION SYSTEM

첨단구경Φ３０μｍ, 축길이２mm의 극소 stylus로 미세한 형상의 측정을 실현합니다.
연료분사노즐이나 화학섬유노즐 등에 미세구멍의 내면 형상이나 와이어 컷, 마이크로 머신 등에 미세 가공부의 칫수 측정에 최적입니다.
화상프로브를 표준 장비로 하고 있어 미세부분의 측정이 가능하고 화상 측정도 가능합니다.

CNC 표면거칠기 측정기 SV-3000 CNC

세계 최초의 CNC 형상측정기 시리즈.
최대 구동속도 200 mm/의 고속 이동과 다축동시제어를 실현.
“파트프로그램”의 스타트로 고속 무인 측정이 가능합니다.

비접촉3차원 CNC 화상측정장치 QS시리즈

측정하고 싶은 곳의 부분을 클릭하는 것만으로 형상인식→측정툴의 배치→엣지 검출→연산까지의 작업을 자동적으로 실행합니다.
QS시리즈는 간단한 조작•저가격을 컨셉으로서 개발되었습니다.
칼라 CCD 카메라를 채용 및 쥼 렌즈 탑재도 준비 하겠습니다.

초고정밀도 3차원 측정장치 UA3P

비구면 렌즈나 반도체 웨이퍼 하드 디스크등의 큰면적의 미세부까지 나노 단위로 측정합니다.
측정 대상물을 최고 0.01μm의 초고정밀도로 측정합니다.
번잡한 정도 교정 작업이 불필요하기 때문에 누구라도 용이하게 잘 다룰 수 있습니다.

측정현미경 MF시리즈

이차원 데이터 처리 장치나 미동 첨부회전테이블 등 다채로운 옵션을 준비하고 있습니다.

Lapped 웨이퍼 수중기스 검사장치 LS-1200

랩면의 표면 상태를 수중에서 검증해 선명히 모니터상에 표시하는 목시검사 장치입니다.
에칭전의 랩핑면결함을 검사하는 것을 통해 랩핑공정시 연마제관리 및 랩핑공정관리에 효과적입니다.

웨이퍼 엣지결함 검사장치 VMB 시리즈

실리콘 웨이퍼나 석영 웨이퍼등의 외관 검사용으로 개발된 광학검사 장치입니다.
엣지의 막면 이상이나 세정후의 잔류이물•연마 이상의 외관 검사나 평가에 최적입니다.

하드디스크 기반결함 가시화장치　VMX 시리즈

알루미늄 디스크나 유리 디스크 및 실리콘 웨이퍼등의 초미세 결함을 측정하는 장치입니다.
표면의 미세한 스크래치를 광대한 시야에서 검출합니다.
dark view field 또는 the light view field 의 사양이 있습니다.

자동 ellipsometer MARY-102

레이저광에 의한 편광해석법을 이용해 실리콘이나 유리기판의 광학 특성 또는 기판상에 박막의 광학특성(굴절률등)을 측정합니다.

분광광도계 U-4100

빛을 시료용액에 조사시키고 가시자외역파장으로 시료의 흡광도를 측정해 목적 성분을 정량 분석합니다.
단파장역으로부터 근적외 역까지 측정가능한 고감도 적분구 및 대형 시료의 비파괴를 가능하게 하는 초대형시료실의 편성등 여러 가지 요구에 대응하는 시스템 구축이 가능합니다.

굴절률 측정장치 KPR-200

유리등 투명 피검물의 굴절률 및 복굴절율 측정장치. 피검물을 세팅하고 버튼을 누르면 컴퓨터가 확정한 측정 조건에 따라서 자동 측정합니다.

Low-pass filter 검사장치 CL-32

탁상형•소형 경량이면서 분해가능0.1μm로 고정밀도로 계측합니다.
화상 읽기등 계측 표시까지 1초 이내에 가능하며 대상워크는 5~40mm로 고속으로 광범위하게 대응가능 합니다.

렌즈측정장치 시리즈

휴대전화나 디지탈카메라에 사용되는 렌즈의 소형화와 고성능화에 수반하여 렌즈의 성능(촛점거리, BACK포커스, 플랜지포커스, MTF, 곡율반경, 편심량)을 정밀하게 측정합니다.
또 PC조작으로 누구라도 쓰기 쉬우며 다수의 옵션을 갖추고 있어 고객의 요망에 따라 빠르게 대응하도록 하겠습니다.

렌즈 편심현미경 CM-126

렌즈의 편심량을 측정하는 장치입니다. 렌즈조립 작업시 편심량이나 편심방향을 고정밀도에 읽어낼 수가 있습니다.
대물：10× 접안：10× 피검렌즈EFL：30~300mm.
최소분해가능：20˝

Beam analyzer BA-1

세계 최초로 차세대 DVD용 단파장 파랑보라색 레이저의 광스포트형상과 파면의 고정밀도을 동시 측정 할 수 있어, 광픽업 시스템의 성능확인을 정밀하고 효율적으로 할 수있는 장치입니다.

물결무늬(MOIRE) 해석장치 FM1410

세라믹(IC패키지)•금속•플라스틱(IC카드)등의 비연마면(거친면)의 표면형상을 단시간에 측정합니다.
비접촉에서 100×140mm의 면적을 10초 이하로 측정 가능.

간섭무늬 해석장치 FS-10

Windows XP대응의 간섭무늬 해석장치입니다. 노트북형으로 P-V값, RMS값, 조감도, 등고선도, 단면도를 알기 쉽게 표시하는해석 소프트웨어입니다. P-V값 및 RMS값 합부판정에 적합합니다.
A1해석장치의 절반가격인 염가형 해석장치입니다.

간섭무늬 해석장치 A1

Windows2000•XP대응의 고기능 간섭무늬 해석장치입니다.
P-V값, RMS값, 조감도, 등고선도, 단면도, 자이델 수차, 제르니케 다항식계수를 알기 쉽게 표시하는 해석 소프트웨어입니다.

소구경 2파장 레이저 간섭계 DW10

DVD/CD-R, CD-RW겸용픽업의 대물렌즈의 투과 파면 검사용 레이저 간섭계입니다.
파장은 Blue-ray 디스크(405nm), DVD용(650nm), CD•CD-R용(790nm)중에서 2개를 선택할수 있습니다. A1해석장치는 표준 장비.

레이저 간섭계 G102/S

Φ102mm 또는Φ150mm의 유효 광속지름으로 고정밀도 평면판(유리, 금속, 세라믹등)의 평면도 측정에 최적입니다.
6배 ZOOM 첨부로 소형 피검물에도 대응합니다.

소구경 레이저 간섭계 FI251N/FI251LN

소구경의 측정물을 고배율로 확대하여 측정 할 수 있는 레이저 간섭계입니다.
CD, DVD등 대물렌즈의 투과파면 측정이나 광픽업 광학계부품의 평면도, 투과파면정도 측정에 최적입니다.

원통면(cylindrical surfaces) 측정 레이저 간섭계 F601 HOE

원통면(실린드리칼 렌즈•밀러등 )의 검사에 최적입니다.
모선 방향：50 mm, R방향오목：55 mm, R방향볼록：47 mm의 사이즈까지 측정 가능합니다.

뉴턴줄무늬 검사 장치 F601 FC

처음에 원기로 조정하면 나머지는 렌즈는 스테이지에 올리는 것만으로 간단하게 뉴턴 줄무늬를 검사할 수 있습니다.
F601에 준하는 풍부한 기준 렌즈로 다양한 렌즈에 대응합니다.

뉴턴줄무늬 검사장치 F601 FC Ⅱ

F601FC의 간이판 뉴턴줄무늬 검사 장치로 소형화에 의해 렌즈의 양산 현장에 적합합니다.
F601에 준하는 풍부한 기준렌즈로 다양한 렌즈에 대응합니다.

레이저간섭계 F601

유리, 금속, 세라믹등의 평면도 또는 렌즈, 금형등의 구면 정도•곡율 반경을 측정합니다.
유효 광속지름은Φ60mm.
독자적인 얼라이먼트 기구로 반사광을 재빠르게 찾아낼 수 있어 측정 시간을 단축할수 있습니다.
국내에서 시장점유율이 가장 높으며 현장에서 반응이 좋아 표준 검사기로서 사용되고 있습니다.

레이저간섭계 F301

유리, 금속, 세라믹등의 평면도 또는 렌즈, 금형등의 구면 정도•곡율 반경을 측정합니다.
유효 광속지름은Φ30mm.
소형•경량으로 소구경 렌즈등의 양산 현장에 최적합니다.