제품정보

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  • 실리콘 웨이퍼나 석영 웨이퍼등의 외관 검사용으로 개발된 광학검사 장치입니다.
  • 엣지의 막면 이상이나 세정후의 잔류이물•연마 이상의 외관 검사나 평가에 최적입니다.

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