제품정보

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  • ULSI 디바이스의 평탄공정CMP기술에 사용되는 polishing slurry로 고순도, 고가공 능률, 고분산, 스크레치 미발생을 실현하고 있습니다.
  • SiO2막용, Poly-Si용, 금속 배선용(W,Cu,Al)의 종류가 있습니다.

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