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  • PLANERLITE 시리즈는 고밀도의 ULSI디바이스 평탄 공정에서 요구되어지는 CMP기술에 사용되는 폴리싱재로서 고순도, 고가공능률, 고분산, 스크래치가 미발생을 기본 컨셉으로 개발된 제품입니다.

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