유수식 고주파 세정장치 - 마부치코리아

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유수식 고주파 세정장치

horn형 고주파 노즐과 함께 갖추어지는 것으로 대형 기판에 대응가능합니다. 유수에 고주파를 가하는 초정밀 세정노즐입니다.
유수에 메가헤르츠의 고주파를 가하는 것으로 가속된 물의 입자가 서브 미크론의 미립자를 세정 제거합니다. 제조 분야의 초정밀 세정공에 효과적이며 연마 후 세정, 성막전 세정, 증착전 세정에 최적입니다.

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