제품정보

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  • 다목적인 박막제작을 가능케한 광학식 막두께 모니터를 갖춘, 바치식성막장치의 표준이다.
  • 라인업로서, 돔경¢400~¢1800mm까지 갖추어 있기 때문에 용도에 맞춰 선택 할 수 있다.
  • 최대 워크지름:¢450/2축(각 축 단독구동)/무단변속

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